| 电子显微镜、用于电子显微镜的电子源和操作电子显微镜的方法 |
| US17557700 2021-12-21 发明申请 |
| 2023-6-22 |
| 描述了一种电子显微镜(100)。 电子显微镜包括用于产生电子束的电子源(110)、用于准直电子源下游的电子束的聚光透镜(130)和用于将电子束聚焦到样本(16)上的物镜(140)。 所述电子源包括：具有发射尖端(112)的冷场发射体; 用于从所述冷场发射体提取所述电子束(105)以沿着光轴(a)传播的提取电极(114)，所述提取电极具有被配置为第一束限制孔的第一开口(115); 用于通过加热所述发射尖端来清洁所述发射尖端(112)的第一清洁装置(121); 以及用于通过加热所述提取电极来清洁所述提取电极(114)的第二清洁装置(122)。 进一步描述了一种操作这种电子显微镜的方法。 |
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