| 在计量型原子力显微镜上增加力曲线功能模块的方法 |
| CN200910068885.8 2009-5-15 发明申请 |
| 2009-10-28 |
| 一种在计量型原子力显微镜上增加力曲线功能模块的方法，操作计量型原子力显微 镜进入正常扫描模式，设置扫描范围为零并关闭PI反馈；检测出控制压电陶瓷Z向位移 的控制线，将该控制线连接到双选开关上；利用第2步骤的双选开关切断原子力显微镜 内部对压电陶瓷Z向位置的控制，使压电陶瓷Z向控制线与外部信号发生器相连接；调 节信号发生器输出波形与电压，将输出信号连接在压电陶瓷放大器上，使该信号所控制 的压电陶瓷Z向位置在可用范围内；在控制压电陶瓷Z向位移控制线与双选开关连接的 切换端口处连接缓冲电路；存储压电陶瓷位置数据及对应的压电陶瓷端部的微探针针尖 偏转数据，绘制力曲线图。本发明降低了制样要求，增加了力曲线图形的可靠性和准确 性。 |
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