| 193nm浸没显微镜 |
| US12423725 2009-4-14 发明申请 |
| 2009-10-22 |
| 提供了用于液体或固体浸没显微镜的物镜部分的新的和有用的概念，其使用193nm的光来照明和成像样品，并且包括液体或固体浸没透镜配置。 可以提供照明和成像， 例如(a)具有最终物镜元件(包括镥铝石榴石透镜元件)的液体浸没透镜， 一种氟化钡锂(BaLiF)透镜元件或熔融石英透镜元件，以及在大约193nm的波长处具有等于或大于水的折射率的折射率的液体浸没层，或(b)具有在大约193nm的波长处具有大于或等于熔融石英的折射率的折射率的最终物镜元件的固体浸没透镜。 |
微信公众号