| 扫描探针显微镜观察的样品和方法使用该相同 |
| JP2008252097 2008-9-30 发明申请 |
| 2009-10-15 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题的是一个限制在几十纳米的分辨率，和所述在测量重现性被显著低的问题通过一种探针的损坏和磨损，因为所述的开口形成几十nm实际上是一个限制在一个使用一个开口的近场扫描显微镜探针和所述外部照明所述近场中的光成为背景噪声扫描显微镜使用一种散射的探头。溶液 : 一等离子体激元增加近场纳米探针具有所述光学分离的功能阶是通过组合一圆柱形结构构成所述的纳米-顺序和显微结构的所述纳米-顺序，及光学信息和凹槽-一个样品上的投影信息被测表面与纳米-阶的分辨率和高再现性，而不损坏两个所述探针和样品，通过重复所述接近低的接触力的退避在所述样品上各测量点。版权 : (C)2010，inpit |
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