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扫描探针显微镜
WOJP22028894 2022-7-27 发明申请
2023-5-11
控制装置(100)在测定力曲线时,基于按压量的设定值(DS1、DS2),将作为将悬臂(12)按压于试样(S)的按压量的挠曲量(D2)控制为作为目标值(DT)的挠曲量(D1)。 控制装置(100)在测定力曲线时,基于表示作为目标值(DT)的挠曲量(D1)与作为过去进行的力曲线测定的实际按压量的挠曲量(D2)之差的差分数据即挠曲量(D3),将设定值(DS1)变更为设定值(DS2)。
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