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产业专利数据

扫描显微镜

EP08103423 2008-4-8 发明申请

2009-10-14

一扫描显微镜包括一个样品架装置(10)，一显微镜头(12)和一移动装置。该显微镜头包括一个物镜(14)，一辐射供应装置(16)和一个辐射接收装置(22)。与所述的助一移动装置，所述整个显微镜头(12)是在至少一个水平移动方向，最好是一个水平平面。