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显微镜I。E。差动共焦显微镜，用于使用形貌测量装置中，具有光测量装置测量位置处的光强度，以及包括用于光传感器与相对于光轴偏移

DE102008017091 2008-4-2 发明申请

2009-10-8

本发明涉及一种与一源光的显微镜(12)，一个物镜(14)和第一光检测器(16); 其中所述显微镜具有一个Z-轴(A)。它是根据本发明的意图是，一个光测量装置，其被训练的作为测量光强度(i)在一个地方，其具有一对准不良的(zv)关于所述Z-轴(A)到第一光检测器(16)。