| 装置结构及包括该装置结构的扫描探针显微镜 |
| US12415237 2009-3-31 发明申请 |
| 2009-10-8 |
| 提供了一种用于分析、检查和测量的设备的结构和使用该设备结构的探针显微镜，在该设备中，支撑检测单元的支撑结构抵抗干扰，抑制大样本测量期间分辨率的降低，并且具有高刚性。 支撑检测单元的装置结构与位于可在至少一个轴方向上移动的单元上的样品相对，并且是要分析的对象，该装置结构具有拱形形状。 在具有拱形并支撑检测单元的装置结构中，形成基本垂直于位于装置结构正下方的样品保持器的平坦表面部分的表面。 检测单元支撑在垂直表面上。 拱形装置结构是与悬链线曲线一致的弯曲结构。 |
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