| 用于液体中样品的显微镜装置 |
| JP2021173641 2021-10-25 发明申请 |
| 2023-5-10 |
| 所要解决的问题：提供一种显微镜装置，其使得能够通过扫描电子显微镜观察更多数量的液体内样品。 解决方案：在液内试样单元10的上方设置在真空下工作的扫描电子显微镜20，在液内试样单元10的下方设置在大气下工作的光学显微镜30。 扫描电子显微镜20用输入电子束EB在液中样品单元10上进行扫描。 光学显微镜30包括：物镜31，其具有设置在液体内样品单元10下方的Z方向刻度盘31a； 目镜32; 设置在物镜31和目镜32之间的半透明反射镜33、34a； 用于光钳操作的激光光源35； XY方向位置调整部36，用于调整激光光源35的激光L2； 以及物镜31的Z方向刻度盘31a。 来自激光光源35的激光L2通过半透明反射镜33从物镜31射出，构成液内试样单元10中的光钳。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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