可旋转多悬臂扫描探针显微镜头
 
US11767713  2007-6-25  发明授权

2009-10-6
 
  扫描探针显微镜头可包括基部、联接到基部的悬臂、以及联接到每个悬臂的至少一个尖端。 悬臂和相关尖端中的至少两个可被配置成执行不同的扫描探针显微镜技术。 悬臂可以垂直于基部定位并且可以耦合到基部的周边。 基座部分可包括与其耦合的电路,用于向尖端提供电。 悬臂可各自沿着基座的周边放置在凹槽中,并通过固定机构(例如弹簧夹)固定到基座。 悬臂可以可操作地耦合到线性定位器,例如压电马达,线性定位器耦合到基座的周边,用于控制悬臂从基座的周边突出的量。
 
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