| 电子显微镜观察方法及其装置 |
| US11415286 2006-5-2 发明授权 |
| 2009-10-6 |
| 本发明涉及在使用扫描电子显微镜的观察中高速采集垂直观察图像和倾斜观察图像。 一种电子束观察设备，包括 : 第一电光系统，其从与待观察的目标晶片上的缺陷基本垂直的方向扫描会聚的电子束，并通过检测由缺陷产生的二次电子图像或反射电子图像来获得具有垂直观察的缺陷图像信号； 以及第二电光系统，其从向缺陷倾斜的方向扫描会聚的电子束，并通过检测从缺陷产生的二次电子图像或反射电子图像来获得具有倾斜观测的缺陷图像信号。 |
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