| 控制方法用于扫描探针显微镜的探针和样品表面之间的距离，和扫描探针显微镜 |
| JP2008066458 2008-3-14 发明申请 |
| 2009-10-1 |
| 要解决的问题 : 以缩短一种方法时，关于一种控制方法用于所述的探针之间的距离一个扫描探针显微镜和一样品表面，和以提供所述扫描探针显微镜。溶液 : 该扫描用于扫描探针显微镜样品表面，通过使用所述探头和测量该样品的不规则性具有原子分辨率的表面具有，作为第一级，一第一控制装置AC模式中操作AFM，用于计算所述相位激励之间的差信号到所述探头6和一个信号，通过检测所获得的信号从该探针6通过一个光检测器7，和通过所述交流模式AFM进行反馈控制，直到规定的改变被检测到的相位的差信号; 和具有，作为第二级，一第二控制装置，用于执行反馈控制，通过使用一样品表面观察反馈信号，其是一个从所述光电检测器7输出由所述模式切换到AFM接触模式，以及控制所述探针和样品表面之间的距离。版权 : (C)2010，inpit |
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