| 一种利用扫描电子显微镜测量基板上形成的电路图案尺寸的方法及装置 |
| US12354923 2009-1-16 发明申请 |
| 2009-10-1 |
| 在使用扫描电子显微镜(SEM)的电路图案的尺寸测量中， 为了能够自动地在样本上成像期望的评估点(EPs)， 并自动测量在评估点处形成的电路图案， 根据本发明，在使用扫描电子显微镜(SEM)的电路图案的尺寸测量中，将EP的坐标数据和包括EP的电路图案的设计数据用作输入，基于EP坐标数据和设计数据自动执行用于测量EP中存在的图案的尺寸测量光标的创建和尺寸测量方法的选择或设置，以自动创建配方，并且使用配方执行自动成像/测量。 |
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