具有电子分光镜透射电子显微镜
 
US12414883  2009-3-31  发明申请

2009-10-1
 
  一种透射电子显微镜,能够高效率且高精度地校正从包括在电子能量损失谱图像中的每个测量部分提取的电子能量损失谱,所述电子能量损失谱图像具有两个轴,所述两个轴表示能量损失量和测量部分上的位置信息。 透射电子显微镜具有电子分光镜和光谱校正系统。 所述光谱校正系统基于从标准光谱图像的标准部分提取的光谱和从与所述标准部分不同的部分提取的光谱之间的差,校正从从样本获取的电子能量损失光谱图像中包括的每个测量部分提取的光谱。
 
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