| 透射电子显微镜像差校正器 |
| US12396027 2009-3-2 发明申请 |
| 2009-10-1 |
| 本发明提供一种像差校正器，即使在已经决定了像差校正器的机械构造的情况下，也能够保证设计无昏迷平面传送部的自由度，并且具有关于校正器外部的灵活的调整余量。 该像差校正器使从样品平面(物镜的物理表面)射出的电子束轨迹与多极透镜平行入射，并使从物镜无昏迷平面或五阶像差的最小平面(物镜中心)射出的电子束轨迹在4f系统的多极透镜的中心平面上形成图像。该像差校正器包括 : 像差校正器，用于校正从样品平面(物镜的物理表面)射出的电子束轨迹，用于校正从物镜无昏迷平面或五阶像差的最小平面射出的电子束轨迹。 因此，在两个多极透镜(HEX118，HEX219)之间执行反对称转移以校正4f系统中的球面像差，并且转移无彗差平面或五阶像差的最小平面以抑制彗差或五阶像差的发生。 (见图4) |
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