| 电子显微镜检查 |
| US12392732 2009-2-25 发明申请 |
| 2009-10-1 |
| 使用具有闪烁体紧密固定于其上的CCD元件的CCD检测器作为检测器，通过以下方法获得后向散射或扫描透射图像。 探测器直接置于物镜下，以获得后向散射电子图像。 当用电子束照射样品的一点时，从样品产生的反向散射或透射电子与闪烁体碰撞以形成发光图案。 该图案由CCD检测器检测，并存储在存储器中。 对于每个照射位置依次重复该处理，以获得电子束扫描范围内的所有图案。 对每个图案执行算术处理以将其转换为图像。 通常，从一个图案计算一个像素的图像数据。 通过顺序地重复这一点，可以获得电子束扫描范围内的反向散射或透射电子图像。 |
微信公众号