产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

装置用于纳米结构的原子力显微镜辅助沉积

WOUS09001846 2009-3-23 发明申请

2009-10-1

一种局部纳米结构生长装置，其具有一个分隔室提供，其中的第一隔板(104)包括一个扫描探针显微镜(SPM)和第二的隔板(108)包括一个原子层沉积(ALD)室，其中第一的隔板是密封从第二隔板分离，和至少一个SPM的SPM探针尖端是设置近到一种样品在ALD室。根据本发明，该密封该腔室之间的隔离防止前体蒸气从损伤的临界显微镜组分和确保污染物在所述ALD室可以被最小化。