| 扫描电子显微镜包括一膜用于保持样品和一碟形天线用于接收样品材料从一损坏膜 |
| EP09250792 2009-3-20 发明申请 |
| 2009-9-30 |
| 方法和设备能够很好地观察或检查一液体样品的(20)。所述的装置，例如一扫描电极的显微镜，可以比以前更好的保持和服务。该装置具有一膜(32)包括一第一表面(32a)，以保持所述液体样品(20)在其上，一个真空室(11)用于降低所述一种环境中的接触压力与一第二表面(32b)的所述膜(32)，主光束照射装置(1)连接与所述真空室(11)和与一个主束照射该样品(7)通过所述膜(32)，信号检测装置(4)用于检测一个二次信号从所产生的样品(20)在响应于所述束照射(7)，一个分割板(14)用于部分所述膜(32)之间的关断所述空间划分和所述主光束照射装置(1)在所述真空室(11)，和一真空规(15)用于检测所述所述真空室内部压力(11)。损伤到所述膜是由一个内部压力增加检测所述真空室。在检测这种压力增加所述划分部件是所述的所述照射光束路径中移动在以便防止样品材料溢出到所述照射装置。 |
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