| 显微镜 |
| JP2008060170 2008-3-10 发明申请 |
| 2009-9-24 |
| 要解决的问题 : 以消除所需要用于一高精度线性驱动机构和高精度的运动控制用于一个透镜,并以达到容易,成本低的配置。溶液 : 所述显微镜包括 : 一个物镜光学系统会聚从一个样品获得的检测光; 一个所述检测光的聚光光学系统13会聚,冷凝由所述物镜光学系统为一销孔14a; 一个光通量直径改变光学系统20,设置在所述聚光光学系统13和物镜之间的光学系统,固定到所述聚光光学系统13,和用于增加或降低所述光通量的直径所述检测的光被入射在所述聚光光学系统13; 和一光学路径切换机构21用于一光学路径之间切换,通过该光通量改变光学系统20和一光学路径,其不通过该光学系统20。所述光学路径切换机构21具有多个反射件21a到21d的,其反映所述检测光一偶数的次数; 和一个反射部件的移动机构使所述反射部件21a一体地移动到21d。版权 : (C)2009,inpit |