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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

原子力显微镜辅助沉积纳米结构的原型工作站

US12383467 2009-3-23 发明申请

2009-9-24

提供了一种具有分隔室的局部纳米结构生长设备，其中第一分隔件包括扫描探针显微镜(SPM)，第二分隔件包括原子层沉积(ALD)室，其中第一分隔件与第二分隔件气密隔离，SPM的至少一个SPM探针尖端靠近ALD室中的样品设置。根据本发明，腔室之间的密封隔离防止前体蒸汽损坏关键显微镜部件，并确保ALD腔室中的污染物可以最小化。