| 带有缩短的弹簧杆的扫描探针显微镜探针 |
| CN200910127659.2 2009-3-19 发明申请 |
| 2009-9-23 |
| 本发明涉及带有缩短的弹簧杆的扫描探针显微镜探针，所述扫描探 针显微镜探针(1)包括支撑元件(2)和弹簧杆(3)，其中，该弹簧 杆布置成相对于支撑元件(2)凸出。为此，支撑元件(2)沿纵向具有 一细长的凸起(4)，弹簧杆(3)固定在凸起的前端面(12)上，弹簧 杆(3)的长度可以高的精度调节。具有凸起(4)的支撑元件(2)防 止了在探针(1)倾斜时支撑元件(2)无意放置在试样上。弹簧杆纵向 界定的高的精度能够按照所提出的制造方法实现重复制造小的、高频弹 簧杆(3)，以实现这种扫描探针显微镜探针。 |
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