| 低加速电压的X-射线显微镜装置 |
| JP2008052874 2008-3-4 发明申请 |
| 2009-9-17 |
| 要解决的问题 : 提供一种X-射线显微镜装置可以得到足够高的分辨率，高对比度，即使用于一微由光元件和观察该样品的样品在原位状态。溶液 : 一个X-射线显微镜装置被提供与一个X-射线生成装置，所述电子束照射从该电子源一种电子枪到所述的X-射线靶，以产生X-射线和一种成像装置的成像所传输的X-射线照射以样品与成像元件。所述X-射线产生装置产生特征X-射线具有长波长0.1-1.2纳米的波长。X-射线透射窗口基材料用于真空密封所述X-射线靶是由铍和所述的厚度所述X-射线透射窗口的基材是10-60nm。所述成像装置的所述样品室使一个密封结构。所传输的图像所获得的样品是通过所述成像装置同时填充所述样品室与一个气体。版权 : (C)2009，inpit |
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