| 扫描电子显微镜 |
| JP2008054227 2008-3-5 发明申请 |
| 2009-9-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能精确地测量一个样品电位或一个样品的高度; 同时，防止损坏和通过一个带电粒子辐射等。溶液 : 为了解决所述的主题，该扫描电子显微镜被设置到测量该样品的高度和使用获得的测量结果该样品的电位在所述施加一个电压到一个样品的状态，从而不以得到一种电子光束的所述带电粒子辐射到该样品，当它被辐射到该样品。进一步作为一个实施例中，所述扫描电子显微镜包括一功能以正确的条件和所述等在一个如放大装置，聚焦，测量坐标和根据与样品中的带电变化等，基于所述测量样品的高度和所述样品带电。版权 : (C)2009，inpit |
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