| 扫描电子显微镜 |
| JP2008054229 2008-3-5 发明申请 |
| 2009-9-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜所述装置，其是适合用于监控的条件，不具有依赖于所述的静电电荷的存在或样品倾斜，或该等。溶液 : 为了解决该问题，所述扫描电子显微镜中被提出，其是配备有一功能其基于被监控设备条件一种状态中获得的信息，其上的电子束不到达一个样品。作为更具体的例子，通过所述样品上施加一负电压，该电子束是由以具有一个状态，即它被反射，而不到达所述样品，和在检测位置变化所反射的电子获得的，当规定的信号被提供给一偏转器，用于对准被监视。如果一个规定的信号表示该状态，其对准是适当地进行，在所述检测到的所述变化位置。所述的电子被确定为反射轴的失准。版权 : (C)2009，inpit |
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