| 扫描电子显微镜 |
| US12396593 2009-3-3 发明申请 |
| 2009-9-17 |
| 在使用低真空样品室中诱导的气体倍增并使用检测正位移电流的方法的VP-SEM中，提供了用于VP-SEM的高速响应的二次电子检测器，其可以以低成本获得电视扫描速率图像，同时节省空间。 在聚酰亚胺膜等柔性薄膜型基板上，通过蚀刻法形成电子供给电极和检测电极，从而形成二次电子检测器。 因此，可以节省空间，同时由于大规模生产而实现低成本。 此外，检测相对于二次电子检测器的表面水平移动的离子，并且不检测返回到样品保持器的沿垂直方向移动的离子，从而可以实现高速响应。 |
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