| 二次反射的电子-电子检测装置，和扫描电子显微镜具有二次反射的电子-电子检测装置 |
| JP2008045694 2008-2-27 发明申请 |
| 2009-9-10 |
| 要解决的问题 : 以选择性地检测一个二次电子信号和一个反射关于一种二次反射的电子-电子信号电子检测装置和一种扫描电子显微镜具有所述二次反射的电子-电子检测装置。溶液 : 这是一种二次电子-电子检测装置，其检测二次电子的或反射的反射产生的电子从一个测试片的一电子显微镜和包括一个二次电子检测部30，它是由一电晕的环31，一个闪烁器32以接收所述二次电子，和一个光管33，一反射电子检测部分20它是由一个闪烁体的，以接收所反射的电子和一个产生光的光导向件21引导从所述闪烁体和具有规定长度，一接合部分34向接头所述的光导向件21和所述光管33，和一光电倍增管35，其接收的光从任何闪烁器，其具有接收所述的二次电子或反射的电子。版权 : (C)2009，inpit |
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