| 扫描电子显微镜 |
| JP2008047025 2008-2-28 发明申请 |
| 2009-9-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜具有一物镜透镜能够高分辨率的观察在一低加速电压在其一个高分辨率观察可以被制成即使在高加速电压。溶液 : 该扫描电子显微镜在其一个图像获得的测试件是由一个二次信号产生通过电子束照射在所述试验片是提供具有一高电压控制功率源以施加一个一个负的电极之间的加速电压和一第二电子源的正电极，一个下的物镜磁极开口型具有一个薄的部分，和一物镜透镜控制功率源，其改变激励强度由一个线圈中流动的电流改变所述物镜的透镜。当一个加速电压高于一预定的加速电压被施加，所述物镜的透镜控制功率源增加所述线圈中流动的电流所述物镜的透镜。版权 : (C)2009，inpit |
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