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扫描透射电子显微镜及其像差校正方法

US12400891 2009-3-10 发明申请

2009-9-10

一种扫描透射电子显微镜(STEM)和像差校正方法具有自相关函数计算装置、像差系数计算装置和反馈控制。通过改变其中一个电子光学装置被设置的值来获得至少两个图像。所述至少两个图像是自相关的。等强度线拟合像差函数。基于像差函数得到像差系数。反馈控制电子光学柱。