| 扫描电子显微镜 |
| US12392563 2009-2-25 发明申请 |
| 2009-9-10 |
| 本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜适用于监视显微镜本身的设备状况，而与充电、试样倾斜等的存在无关。 为了实现该目的，提出了一种扫描电子显微镜，其包括基于在到达样品之前用电子束反射获得的信息来监视设备状况的功能。 具体地说，例如，在电子束到达试样之前向试样施加负电压以反射电子束，并且同时向偏转器提供预定信号以对准，扫描电子显微镜监视电子束的反射电子的检测位置的变化。 如果上述预定信号处于正确执行对准的条件下，则检测到的电子位置的变化反映轴的偏差。 |
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