目的 : 一种电子显微镜测得的数据被提供以防止所述的失真从检测器通过定位所述检测器，以所述相同的位置。<\/P>

的结构 : 所述室(100)提供了一个真空空间。一种样品被装载在该表形成在所述真空空间，该室具有一个腔室盖。一种扫描装置(200)被连接在所述室的所述上部和投射电子光束所述样品上。该扫描仪包括一个电子枪，一列，一聚光透镜，物镜透镜，一个扫描管和一扫描线圈。所述扫描仪所述的底部部分被连接到一膜片(250)。所述膜片是所述聚光透镜和所述物镜之间的粘附，该膜片被插入到所述扫描器及控制所述图像的尺寸。所述的真空保持部分(300)被连接到所述腔室和所述扫描仪。一种多个的检测器(400)被连接到所述腔室，每个检测器包括一个传感器。<\/P>