| 扫描电子显微镜 |
| JP2008038092 2008-2-19 发明申请 |
| 2009-9-3 |
| 要解决的问题 : 以得到一种稳定的电子图像通过有效地加热样品不被影响的一个真空的程度。溶液 : 一种扫描电子显微镜10包括一个透镜镜筒部分12和一个样本室22。所述样品室22包括一个检测器26，一个样品架30，一气体入口端口50，和一个排气端口52。一个加热室31的样品架30包括 : 一开口32通过电子束施加从电子枪14; 一个红外线光源36到加热样品40样品架上安装42; 和一反射板38以该样品40上会聚一个红外射线。一毛细管管44用于气体引入一个非常小的量在所述样品40的附近被连接到所述样品台42。一加热的样品和各种气体之间的反应是通过替换气体所述样品室22内观察到一种低真空气氛下。此外，当一个非常少量的气体被引入通过该毛细管管44，一浓度或一种所述的附近的所述样品中所述气体的气氛40可以暂时地和局部改变到检查该样品40的状态变化。版权 : (C)2009，inpit |
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