| 吸收边结构的扫描电镜及图谱显示方法 |
| EP22193636 2022-9-2 发明申请 |
| 2023-3-15 |
| 将使用第一加速电压加速的电子束施加到样品上的相应位置以获得相应位置处的光谱A，并且将使用不同于第一加速电压的第二加速电压(100)加速的电子束施加到样品(100)上的相应位置以获得相应位置处的光谱B。 然后，在每个位置处计算光谱的光谱比A/B，以生成表示光谱比A/B的波形。 从每个波形中提取感兴趣的能量区域中的谱比A/B的值。 将所提取的值映射到与样本上的各个位置相对应的点上，由此产生光谱图。 显示光谱图。 |
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