产业专利数据
 
扫描显微镜
 
JP2008030781  2008-2-12  发明申请
2009-8-27
 
  要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜，其抑制因振动产生的噪声的一个扫描装置。溶液 : 在所述扫描显微镜1包括所述扫描装置8用于扫描光从光源2，一种物镜13会聚的光通过所述扫描装置8在一样品5，和一个检测器6，其检测从样品5的光通过物镜13，所述扫描装置8被安装到壳体3a通过一振动阻尼部件20由一种材料的具有>1，用于振动的阻尼系数。版权 : (C)2009，inpit
 
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