| 扫描电子显微镜和使用该扫描电子显微镜测量图案尺寸的方法 |
| US12369774 2009-2-12 发明申请 |
| 2009-8-27 |
| 在通过CD-SEM对半导体图案进行尺寸测量时，尺寸测量值与图案上的实际尺寸之间的误差值由于依赖于图案的横截面形状而变化很大，精度低是一个大问题。 在本发明中，预先用AFM测量结果和通过CD-SEM测量的相同形状的图案制备多个图案，每个图案具有不同的形状。 将这些测量结果和尺寸误差彼此同源并保存在数据库中。 对于尺寸的实际测量，调用最相似的侧壁形状和相应的CD-SEM测量误差结果，并使用调用的误差结果来校正测量对象图案的CD-SME结果。 以这种方式，可以校正或减小取决于图案的横截面形状的尺寸误差。 |
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