| 纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体 |
| CN200820035096.5 2008-4-9 实用新型 |
| 2009-8-26 |
| 本实用新型纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于 基座上的两个压电管，探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端，探针与样品间的间隙 调节方向与两个压电管的轴线方向垂直，两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定 位、一个Y定位和一个Z定位。本实用新型是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管 轴线方向垂直以提高探针-样品间距的调节范围，使得在全部使用小于18V的低电压情况下也 能实现以往必须使用大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功 能，并具有很高热稳定性的扫描探针显微镜镜体。 |
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