| 检查显微镜，显微镜观察的方法，和显微观测程序 |
| JP2008029039 2008-2-8 发明申请 |
| 2009-8-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一种检查显微镜或等不使一个物镜的碰撞与一玻璃基板，即使通过手动聚焦操作中使用一种样品进行检查时或所述等用于评价待通常被检查基板厚比。溶液 : 该检查显微镜包括一个装置，用于所述玻璃衬底的表面上聚焦通过使用一聚焦机构用于移动一个阶段用于安装所述玻璃基板或所述物镜相对在所观察的光学轴方向，所述物镜的透镜装置，用于检测所述位置信息，以当所述表面的所述玻璃基板玻璃基板上被聚焦，一种装置，用于设定一运动范围，其中所述级和所述物镜被基于所检测的相对移动的位置信息，和一种装置，用于设定一运动范围，其中所述级和所述物镜当操作者手动操作相对移动所述聚焦机构基于所检测的位置信息。版权 : (C)2009，inpit |
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