| 扫描电子显微镜和图像处理方法及其 |
| JP2008028296 2008-2-8 发明申请 |
| 2009-8-20 |
| 要解决的问题 : 以确保实时特性，以显示图像的直接成像后，当一个平滑滤波器处理和一个隔行扫描是一种扫描电子显微镜中进行。溶液 : 样品具有相对于所述的检查区域，当独立地执行该隔行扫描仅在奇数线和该扫描仅在偶数行，产生二次信号仅在所扫描的所述奇数线被累加到产生所累积的所述奇数数据线，所产生的扫描信号仅在所述的偶数行的扫描所述，即使被累加，以产生所累积的数据线，所述累加数据的奇数线和所述即使线被合成以产生合成数据，和该合成数据被进行平滑处理，以显示电子束在所述检查图像区域。版权 : (C)2009，inpit |
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