| 控制用于图案形成方法在光刻中使用原子力显微镜 |
| KR1020080014053 2008-2-15 发明申请 |
| 2009-8-20 |
| 目的 : 一种图案形成控制方法在使用AFM是提供一种光刻以形成一光刻图案与该级的特定高度和宽度虽然速度被改变。<\/P> 构成 : 一图案形成控制方法在光刻使用AFM包括一步骤建立所述变化率的该级的驱动电压(Vs)被相对下在该阶段驱动电压的峰值和最低点。所述级驱动电压被用于当该阶段被移动到AFM探针或所述或所述AFM探针被移动到一基板。级被安装在所述衬底，以便形成该光刻图案中。一种波形(10)的一个级驱动电压是正弦波。<\/P> kipo2009<\/P> |
微信公众号