目的 : 一种原子力显微镜和所述相同的图像的补偿方法被提供给执行表面的一样品在超高速使用一种开环模式。<\/P>

构成 : 一种原子力显微镜包括一个三-维扫描器(100); 一感测单元(200)，一个光学检测器(150)，一控制器(300)。所述三个三维扫描器包括一个级(110)和一悬臂(120)。一种样品(500)被沉积在该阶段，该悬臂销表面一种的样品。同时沿所述固定方向移动所述级或所述悬臂，该三-维扫描器扫描。感测单元，其中所述三个中检测一个实际的XY位置的三维扫描仪基于实时坐标上移动。光检测器检测所述翘曲程度通过测量所述悬臂的所述激光束反射的光，其被入射在所述悬臂。所述控制器基于所述内部的冲击所述的图像失真修正所述实际坐标上的由该感测单元。<\/P>