| 复合带电粒子束装置，处理样品的方法和使用该装置制备透射电子显微镜用样品的方法 |
| US12378138 2009-2-11 发明申请 |
| 2009-8-20 |
| 本发明提供了一种装置，该装置精确地对其性质易于通过电子束照射而改变的样品进行离子束蚀刻，而不损失操作的便利性和生产量。 一种装置，包括离子束镜筒和电子束镜筒，所述离子束镜筒和电子束镜筒能够在用离子束蚀刻的过程中观察或测量具有电子束的样品的状况，其中，首先，获得观察图像，所述观察图像包括由电子束产生的二次信号形成的整个处理区域，其次，在所述观察图像中限定照射允许区域和照射禁止区域，并且第三，电子束照射仅限于所述照射允许区域。 |
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