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圆筒型压电致动器及使用该致动器的压电元件和扫描探针显微镜

US12378139 2009-2-11 发明申请

2009-8-20

所述圆柱形压电致动器包括压电元件和驱动电源，所述压电元件在至少圆柱形的内周面和外周面中的每一个中提供电极。压电元件的外侧电极覆盖整个大致圆周的外表面并连接到地电位，内周表面中的电极连接到驱动电源。