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具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜
CN200910006670.3 2009-2-13 发明申请
2009-8-19
本发明涉及具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜(TEM)。 本发明涉及一种具有用于改善图像质量的校正器(330)和用于改善对 比度的相位板(340)的TEM。经改善的TEM包括被完全置于物镜与 相位板之间的校正系统，并且使用校正器的透镜在相位板上形成衍射平 面的放大图像。
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