| 低电压场致发射扫描电子显微镜 |
| EP08002916 2008-2-18 发明申请 |
| 2009-8-19 |
| 一显微镜和一个微观上分析该样品的表面的方法(3)被提出，包括至少所述以下步骤 : I。一种电子发射器之间的相对移动实现尖端(1)和所述样品的表面，从而作为以扫描它在两个横向尺寸，使用一个电子发射体尖端(1)与一个有效发射的半径等于或小于2nm作为通过所述富勒-诺德海姆确定的关系; II。这种相对移动期间使发射的电子(6)从所述尖端(1)，以撞击对该表面和二次和\/或要从中发出的背散射电子(4)，其中所述样品之间施加一恒电位的差值(3)。和所述尖端(1)，其中一个压电装置是用于保持所述尖端-样品分离使用一恒定的距离恒定电压施加到所述Z-轴的压电使得所述样品之间的距离(3)和所述尖端(1)是在所述的范围10-70nm; III。这种相对移动期间收集该二次和\/或背散射电子(4)通过使用一检测器(5，7)和\/或测量该领域中的发射电流变化; IV。处理和\/或显示所述输出信号从所述检测器(5，7)和\/或所述测量的所述场致发射电流在相对于所述尖端(1)的一个扫描位置从而产生至少一个表面地形图像。 |
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