| 焦点调整装置和显微镜装置 |
| JP2008020629 2008-1-31 发明申请 |
| 2009-8-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一焦点调整装置，其达到一合适的样品的焦点调整而不管以被观察到。溶液 : 所述焦点调整装置包括 : 一个光电检测器装置，其具有一个用于聚焦检测光检测器以接收反射的光从所述对象到被观察到的在不同的光学路径长度的一位置; 一个放大器装置，其具有一放大器电路，以放大的输出信号从所述光检测装置; 一个聚焦检测装置，其产生一散焦信号表示在一个所述焦点之间的光学轴方向的偏差一物镜和所述对象的位置从一个光接收表面上形成一个图像设置在所述基于所述不同的光学路径长度的位置在所述输出信号从所述放大器装置; 和一个调整装置，其基于所述物镜和所述对象之间的空间调整该散焦信号上。所述放大器装置放大所述输出信号从所述的光检测装置第一一第一范围内的增益在所述的光学轴方向，和放大所述输出信号从所述的光检测装置第二的增益从第一不同一第二内的增益范围从第一不同的范围。版权 : (C)2009，inpit |
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