| 校准设备与校准装置及扫描激光显微镜 |
| JP2008328779 2008-12-24 发明申请 |
| 2009-8-13 |
| 要解决的问题 : 处理至少一个各种性能的一个扫描测试中的问题和校准问题激光显微镜通过简单的装置，同时节省时间。溶液 : 所述校准装置1包括一个聚焦光学系统3和一个测试结构4设置在所述焦所述聚焦光学系统的平面3和配备有一结构元件，其可以被检测到在至少或者垂直照明光或透射光，其被一个公共框架2中与每个其它固定对准。所述校准装置1被插入在所述扫描激光显微镜的辐射路径，使得所述光瞳所述聚焦光学系统可以被叠加在所述的一种扫描激光显微镜的物镜的光瞳或存在一个平面内的共轭到所述光瞳的所述扫描激光显微镜的物镜在所述扫描激光显微镜。版权 : (C)2009，inpit |
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