| 扫描电子显微镜 |
| JP2008022239 2008-2-1 发明申请 |
| 2009-8-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜与一个X-射线分析仪能够减少的复杂的操作通过一试片的形状引起的观察和分析和获得高度准确的结果的所述观测和分析所述检测件不具有专用的知识和能力。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个检验部件的精细移动装置能够理解的位置信息的所述检验部件，以及三-维轮廓测量装置。在使用高度由三个三维测量获得的各个像素的信息，一个用于所述最佳观察和分析环境可以响应中被提供到一不具有专用目的的知识和能力的诸如自动调整所述检验部件的精细移动装置以一种分析距离和定量的分析当实际上进行观察和分析的适当性。版权 : (C)2009，inpit |
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