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一种可测量悬垂结构样品的扫描探针显微镜

US12393293 2009-2-26 发明申请

2009-8-13

一种扫描探针显微镜，使用使Z扫描器的扫描方向相对于样品平面旋转的可移动组件，以精确的量和高的可重复性倾斜Z扫描器的扫描方向。可移动组件沿着弯曲导向件移动，并且具有凹槽，所述凹槽与固定框架上的相应突起接合，以将可移动组件精确地定位在沿着弯曲导向件的预定位置处。