| 一种在原子力显微镜中检查样品的方法 |
| WOCZ21050076 2021-7-13 发明申请 |
| 2022-12-15 |
| 一种在AFM中检查样品(1)的方法，包括：负设定点SCD设定过程(a)，SCD是负实数，和接近过程(b)，包括：在样品(1)的至少一个点之上减小尖端到样品的距离D，并记录作为D的函数的悬臂偏转CD，直到达到至少一个临界标准：第一临界标准(b1) : CD-SCD; 第二临界标准(b2) : CD-SCD/2，然后(I)-0; 第三临界标准(b3)：CDS SCD/2，然后CDS 0； 第四临界标准(b4)：CD=-SCD，则停止/暂停该方法。 可以创建恒定吸引力图，其中每个图点由获得(b1)的样品(1)的点的两个相对平面坐标和对应于获得(b1)的尖端到样品距离D的一个空间坐标定义。 |
微信公众号