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活动测量传感器的位置和/或运动例如扫描力显微镜检测装置，与梁导承具有导光单元提供用于引导通过测量传感器反射的光的光敏探测器单元

DE102008006697 2008-1-30 发明申请

2009-8-6

装置到收集位置和/或运动的至少两个活动测量探针(6)的显微镜，与至少两个导光机构(LE)，在每种情况下，一个至少两个测量探头(6)被分配和彼此分离strahlführungen不显示，以及使用这种显微镜中的装置和这种装置的综合显微镜。