| 扫描式共焦系统和具有相同的扫描型共焦显微镜装置 |
| JP2008010697 2008-1-21 发明申请 |
| 2009-8-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描型共焦系统，其防止了分段中的性能劣化造成的一个温度变化，和以提供一种扫描型共焦显微镜装置具有相同的。溶液 : 该扫描式共焦系统5包括 : 一扫描器26扫描激光束从点光源一种在一样品; 一聚光透镜28会聚观察光从所述试样; 一销孔29设置在所述后所述聚光透镜的聚焦位置; 用于检测一个光检测装置5a所观察的光通过针孔; 至少一个温度传感器51; 一个校正表10a，它使用一个校正值存储到正确的位移从一种共轭之间的关系所述前点光源和所述基于针孔在该温度检测由所述温度传感器; 和基于所述位移一个位移校正装置52用于校正在所述校正值。版权 : (C)2009，inpit |
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